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ODF-VAS
Nov 15, 2017

Vacuum Align System

L'obiettivo è di trasformare TFT e CF in scatole nel vuoto con TFT e CF.

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La struttura di base è la seguente

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Vacuum Align System, consiste dei seguenti 3 sistemi

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Vacuum Align System Orario di lavoro, Principalmente nel seguente ordine

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1.1 sistema di aspirazione

Il sistema di aspirazione di AS è composto principalmente da pompa per vuoto (pompa a secco) e pompa turbo molecolare;

Di solito, la DP porta il vuoto a circa 10 Pa;

TMP può portare il vuoto a circa 1 Pa;


Il seguente è un diagramma schematico della tubazione del vuoto di una macchina VAS

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1.2 adsorbimento del vetro

Vacuum Align System, in base ai requisiti di precisione della scatola di vetro, il vetro non può avere alcuna deformazione, ma anche per ridurre l'interferenza della caduta, l'assorbimento del vetro sulla macchina dal più vecchio adsorbimento sottovuoto, lo sviluppo di adsorbimento elettrostatico, e quindi apparire il adsorbimento forza molecolare!

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Sulla base dell'assorbimento elettrostatico e dell'adsorbimento della forza molecolare, facciamo il seguente confronto

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1.3 Sistema di contrappunto

Sistema di posizionamento, sono semplicemente le coordinate del Mark di acquisizione della telecamera, attraverso il sistema di elaborazione delle immagini, il calcolo della differenza di posizione del substrato, e quindi il sistema di controllo regola la posizione del substrato, per ottenere un allineamento preciso;

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Il processo di allineamento è il seguente

1. afferrare su e giù le coordinate del segno;

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2. Calcolare il theta come mostrato nella figura seguente

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2. Quindi, il substrato inferiore si sposta e viene calcolato un nuovo punto centrale Bm'

3. infine, Bm passa alla posizione Um;