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Struttura e preparazione del cristallo liquido TFT
Jun 14, 2018

Tecnologia chiave nella preparazione di p-Si TFT


  1 , ltps tft lcds livello tecnico

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2. Attivazione di droghe e impurità nella preparazione di p-Si TFT

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Rispetto alla tecnologia del doping VLSI, le caratteristiche del doping p-Si sono:

    

(a) la bassa conduttività termica del substrato richiede un processo di drogaggio "delicato" per alleviare il danno termico al fotoresist.

(b) l'energia di iniezione è adatta per il drogaggio del film (<100 nm)="" quando="" c'è="" uno="" strato="" di="" mascheramento="" (o="" strato="" di="">

(c), l'attrezzatura è semplice (a basso costo) e può raggiungere un alto rendimento per la base di grandi superfici.

(d), il processo di drogaggio è compatibile con il processo di attivazione delle impurità a bassa temperatura (generalmente inferiore a 650 oC, per substrato di plastica <200>


Difetti dell'array TFT

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Difetti comuni nel processo di array TFT

Scarse caratteristiche TFT

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Nell'ispezione finale dell'array TFT, i punti difettosi sono: cortocircuito della linea ITO- self data, cortocircuito della linea dati ITO- sub, cortocircuito ITO-CS, eccesso di carica, cortocircuito della rete ITO, IOFF, basso Vg e altri difetti.

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Guasto elettrostatico

La rottura elettrostatica si riferisce alla rottura dello strato isolante e dello strato semiconduttore a causa dell'elettricità statica. Lo strato di griglia è collegato direttamente allo strato di segnale e si verifica un cortocircuito. È più facile che si verifichi sull'anello del cortocircuito o sul bordo del substrato.

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  Il processo della cella a cristalli liquidi

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Processo a celle a cristalli liquidi (1)

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